Deposisi lapisan tipis TiO2 telah dilakukan untuk mengoptimalkan desain reaktor Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) vertikal non-terbalik. Reaktor terbuat dari bahan stainless steel dan dilengkapi dengan aksesoris standar. Deposisi uap kimia adalah salah satu metode untuk menumbuhkan lapisan tipis berdasarkan reaksi uap kimia pada substart yang dipanaskan dan diletakkan di dalam sebuah rua…