Tulisan ini menjelaskan tahapan proses pembuatan mikrodivais yang akan digunakan sebagai platformrnsensor gas karbon monoksida (CO) berbasis berbasis indium timah oksida (ITO). Divais yang dibuat telahrndirancang diatas substrat silikon dengan daerah aktifberukuran 3x3 mm2rndan terdiri dari bonding pad, komponenrnheater, elektroda, dan sensor temperatur. Lebar jalur minimum adalah 50 mikron, se…