Data XRD dari nanokomposit Ti-Si-N telah dianalisis menggunakan program GSAS berbasis metode Rietveld untukrnmengidentifikasa fasa-fasa pembentuk serta komposisinya dan mencari pengaruhnya terhadap kekerasan materialrntersebut. Telah ditemukan fasa-fasa baru dalam sampel tersebut, disamping fasa-fasa nanokomposit nc-TiN/a-Si3N4&rna-/nc-TiSiz yang telah banyak dikenal. Dari fasa-fasa kristal yan…