A new experimental approach to evaluate plasma-induced damage in microcantilever

Pengetsaan plasma selama proses fabrikasi-mikro adalah peristiwa yang tak terhindarkan dalam proses fabrikasirnstruktur-struktur MEMS. Selam?t'proses plasma berjalan, dua materi utama, yaitu ion bermuatan dan kerusakan iradiasirnvakum-ulraviolet (VUV), berperan penting dalam memastikan reliabilitas proses degradasi. Ion-ion bermuatanrnmenyebabkan pengetsaan sisi-dinding, yang tidak diharapkan, …

Fisika modern

Edisi

-

ISBN/ISSN

9794561029

Deskripsi Fisik

xix, 769 p. ; 23 cm

Judul Seri

-

No. Panggil

539 Kra f

Mekanika

Edisi

-

ISBN/ISSN

-

Deskripsi Fisik

xi,96P.;il,;29cm

Judul Seri

-

No. Panggil

531

Fisika dasar mekanika

Edisi

Cet . 4

ISBN/ISSN

979-8001-12-5

Deskripsi Fisik

x, 259p. : ill. ; 28 cm; Ind.p. 253-259

Judul Seri

-

No. Panggil

530 Sut f

Mekanika teknik: statika

Edisi

-

ISBN/ISSN

979-8901-57-6

Deskripsi Fisik

x, 310 p. : ill. ; 24 cm.

Judul Seri

-

No. Panggil

621.105 3 Hib m

Ketrampilan mengolah sabut kelapa menjadi papan partikel

Edisi

Cet. 1

ISBN/ISSN

978-602-99405-4-1

Deskripsi Fisik

vi, 72p. : ill. ; 21 cm; Bbl.p. 69-70

Judul Seri

-

No. Panggil

674.836 Tam k

Teori dan soal-soal fisika modern fisika modern

Edisi

Ed.2

ISBN/ISSN

9797818241

Deskripsi Fisik

x, 278 p. : ill.; 26 cm., Ind. p.277-278

Judul Seri

-

No. Panggil

539 Gau t