Art Original

Optimalisasi rancang bangun Reaktor untuk deposisi Uap Kimia Organo Logam

---

Deposisi lapisan tipis TiO2 telah dilakukan untuk mengoptimalkan desain reaktor Deposisi Uap Kimia Organik Logam (MOCVD) vertikal non-terbalik. Reaktor terbuat dari bahan stainless steel dan dilengkapi dengan aksesoris standar. Deposisi uap kimia adalah salah satu metode untuk menumbuhkan lapisan tipis berdasarkan reaksi uap kimia pada substart yang dipanaskan dan diletakkan di dalam sebuah ruang reaksi yang di vakumkan.

---

Ketersediaan

Tidak ada salinan data

Informasi Detail

Judul Seri

Saintika jurnal penelitian sains, teknologi dan rekayasa

No. Panggil

600 Sai

Penerbit

Medan : Lembaga Pengabdian Kepada Masyarakat Universitas Negeri Medan (LPM UNIMED)., 2002

Deskripsi Fisik

6p. ; 28 cm.

Bahasa

Indonesia

ISBN/ISSN

1412-2995

Klasifikasi

600

Tipe Isi

-

Tipe Media

-

Tipe Pembawa

-

Edisi

Vol. 2, No. 1/ Maret 2002

Subjek

TECHNOLOGY

Info Detail Spesifik

Email : Ipunimed@indo.net.id

Pernyataan Tanggungjawab

Lembaga Penelitian Universitas Negeri Medan

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar

---

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar