Text

Perancangan dan pembuatan divais sensor gas CO berbasis indium timah oksida (ITO) dengan teknologi lapisan tipis

---

Tulisan ini menjelaskan tahapan proses pembuatan mikrodivais yang akan digunakan sebagai platformrnsensor gas karbon monoksida (CO) berbasis berbasis indium timah oksida (ITO). Divais yang dibuat telahrndirancang diatas substrat silikon dengan daerah aktifberukuran 3x3 mm2rndan terdiri dari bonding pad, komponenrnheater, elektroda, dan sensor temperatur. Lebar jalur minimum adalah 50 mikron, sesuai dengan kemampuanrnproses fotolitografi yang digunakan. Pembentukan struktur mikrodivais dilakukan utamanya menggunakan teknikrnlift-off lapisan platina (Pt) yang dilapiskan menggunakan metode DC sputtering dengan lapisan alumunium (Al)rnsebagai sacrificial layer, Dimensi chip mikrodivais yang dihasilkan berukuran 5 x 5 mm2rnPengujian yangrndilakukan untuk mengetahui karakteristik resistance terhadap temperatur dari mikrodivais menunjukkan bahwarnelemen heater dan sensor temperatur telah berfungsi seperti yang diharapkan, yaitu nilai resistansinya berubahrnsecara linear dengan kenaikan temperatur substrat antara 20 - 200 °C. Rentang kenaikan nilai resistansi untukrnheater adalah an tara 500 - 1000 ohm, sedangkan untuk sensor temperatur an tara 100 - 300 ohm.

---

Ketersediaan

Tidak ada salinan data

Informasi Detail

Judul Seri

JKTI (jurnal kimia terapan Indonesia)

No. Panggil

540 Jur

Penerbit

: ., 2015

Deskripsi Fisik

-

Bahasa

Indonesia

ISBN/ISSN

0853-2788

Klasifikasi

540

Tipe Isi

-

Tipe Media

-

Tipe Pembawa

-

Edisi

Vol. 17, No. 1, Tahun

Subjek

-

Info Detail Spesifik

-

Pernyataan Tanggungjawab

-

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar

---

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar